CNC PEEK Halbleiter-Wafer-Transfergabel für automatisierte Handhabungsgeräte

Diese kundenspezifische CNC-gefräste PEEK-Wafer-Transfergabel ist für automatisierte Halbleiterhandhabungssysteme konzipiert, die Siliziumwafer zwischen Kassetten-Ladeanschlüssen, Vorjustierstationen und Inspektionsgeräten bewegen. Die Gabelzinken stützen vorgesehene Wafer-Kontaktbereiche, während die hintere Montagefläche mit dem Roboterhandhabungsmechanismus des Geräts verbunden ist.
PEEK bietet eine leichte technische Polymeroption mit elektrischer Isolierung und guter Bearbeitbarkeit. Die genaue PEEK-Qualität sollte entsprechend der erforderlichen chemischen Verträglichkeit, Betriebstemperatur, statischen Kontrolle und Wafer-Kontaktanforderungen ausgewählt werden.
Bestätigen Sie vor der Produktion den Waferdurchmesser, die Position der Auflagepunkte, den Abstand der Gabelspitzen, das Befestigungslochmuster, die Ebenheit und den erforderlichen Abstand zu benachbarten Geräten. Für Reinraumanwendungen sollten auch die Polymerqualität, der Reinigungsprozess und die akzeptablen Anforderungen an die Partikelkontamination vor der Freigabe definiert werden.

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